TOPページへ PVD・CVD概論 加工条件・加工事例 調査結果
PVD・CVD概論
TOP >> PVD・CVD概論 >> 評価法 >> 機械特性 >> 密着強度測定 >> 曲げ試験
概論目次へ

曲げ試験

 曲げ試験は、薄膜試料を万力などで固定し、90度垂直に曲げて、はく離や割れなどの状態を目視や顕微鏡で観測し、薄膜の密着強さや基板への結合強さを調べるための試験方法です。主に、金属薄膜を金属基板に蒸着した場合の密着性を調べるものです。さらに、180度反対方向に曲げることを繰り返して、曲げに対する強度を繰り返し数で評価する場合もあります。