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PVD・CVD概論
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ブリネル硬さ試験

研磨して平滑化した薄膜表面や断面に対して、鋼球を押し込み、圧痕の対角線の長さの平均値から表面積当たりの平均応力を求めて、ブリネル硬さ(HB)としています。