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PVD・CVD概論
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示差走査熱量測定

示差走査熱量測定(DSC)は、対称的に配置した複数の測定部の一方に既知の性質の薄膜材料を、他方に未知物質を用いて、両者の示す温度挙動の差を測定することで、試料の転移温度と転移熱量、熱容量、反応温度、反応熱量の測定が可能です。