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磁歪測定は、強磁性体試料を磁化すると、磁気ひずみ現象、または磁歪現象が発生し、その時のわずかな変形量を測定する方法です。磁化された強磁性体試料が、その磁化された方向に長さがLからL+δLに変化した場合のδL/Lを磁歪といいます。
基板が極めて薄い場合では、磁化された基板が薄膜に引っ張られてたわみます。光梃子法では、基板の自由端にレーザ光を照射し、その位置変化を変位センサで測定することで、磁歪定数λsを求めることができます。
標準試料として、既知の磁歪定数λsである等方磁歪材料のFe40Ni60を同じ形状の基板上に作製したものを用いて、未知の薄膜材料と同様の測定を行い校正を行えば未知の膜材料の磁歪定数が求められます。 |
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