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PVD・CVD概論
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光音響効果利用周期光加熱型熱拡散測定
周期的に光を照射して熱を与え、圧電素子やマイクロホンを用いて応答周期温度を測定して熱拡散率を求める方法です。薄い試料では、有効な温度勾配が得られないので、交流的な温度刺激を与えてその応答を時間の関数として観測する、いわゆる非定常的な方法で測定することになります。