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PVD・CVD概論
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付着性試験(プルオフ法)

付着性試験は、薄膜の基板への密着強さおよび薄膜そのものの結合強さを求める試験方法であります。プルオフ法では、主にガラス基板上の薄膜に粘着テープを貼り付け、引き剥がした結果の破断状況で評価します。