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PVD・CVD概論
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抵抗温度係数測定

 抵抗温度係数測定は、温度による電気抵抗の変化を測定する手法で、抵抗温度係数は、電気抵抗(R)の温度勾配を電気抵抗で割ったものとして定義されています。
 金属は正の抵抗温度係数を示し、半導体は負の抵抗温度係数を示します。この理由は、電気的特性は、温度により強く作用され、金属のような導電体では、自由電子が多くいるため電子濃度の温度変化はありませんが、格子の熱振動により電子が移動できにくくり、温度の上昇とともに電気抵抗が低下します。一方、半導体では、負の電荷を持つ電子と正の電荷を持つ正孔の移動によって電気伝導は行われ、温度が上昇すると電子、正孔の濃度が大きくなるため導電性は増加することに起因しています。