形状精度を維持、向上するために注意しておくべき点についてまとめてあります。
平面の形状精度
端だれの発生原因と対策
研磨時における基板状工作物の反りの問題。トワイマン効果。
高精度加工における計測評価装置の重要性 について
異種材料で構成された表面の平滑研磨
独立行政法人 産業技術総合研究所 (知財管理番号 : H15PRO160)