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えー・いー・えす

AES

 オージェ電子分光分析 Auger electron spectroscopy の略語。オージェ電子は、試料に電子線、イオンビーム、X線などを照射してK殻、L殻等の内殻から電子を放出させた際、外殻の電子が空位の位置に落ち込んで放出する電子である。スペクトル測定により局部の元素分析ができ、深さ1nm程度までの表面分析に利用されている。

 

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