しー・おー・ぴー
シリコン単結晶の洗浄工程のエッチングによりウエハ表面に生じる結晶起因の欠陥のうち、パーティクルカウンターによりパーティクルとして計数されるもの。パーティクルを意味する crystal-originated particle の略語であるが、実体は0.2〜0.5μmの大きさのピットである。
独立行政法人 産業技術総合研究所 (知財管理番号 : H15PRO160)
研磨用語
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