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研磨用語

てぃー・てぃー・ぶぃ

TTV

　total thickness variation　の略語。ウエハ平坦度の評価項目の一つ。ウエハ裏面を基準面として厚み方向に測定した高さのウエハ全面における最大値と最小値の差。

　

独立行政法人 産業技術総合研究所　(知財管理番号 : H15PRO160)