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研磨用語集（か行）

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くもり

くもり

　外観検査による光沢を失った状態をいう。例えば、シリコンウエハの最終仕上げ工程のあと、暗室にて集光ランプを用いた目視による「ヘイズ」検査が行われる。この場合、極微細な凹凸や付着物などによる光の散乱が原因している。

　

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