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研磨用語集（ら行）

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りょうめんらっぴんぐ

両面ラッピング

　両面を同時に加工して平行平板などを作製するラッピング法。Siウエハ、水晶フィルター基板、磁気ディスク用ガラス基板、マスク用ガラス基板などの作製に適用されている。

　

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