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研磨用語

さんかじるこにうむ ZrO₂

酸化ジルコニウム

　製造時の温度により結晶構造が非晶質、準安定正方晶系、単斜晶系、正方晶系、立方晶系と変化するが、この中で比較的軟質な準安定正方晶系や単斜晶系のものがガラスや半導体のポリシングに用いられる。

　

独立行政法人 産業技術総合研究所　(知財管理番号 : H15PRO160)