つーうぇいりょうめんけんまばん
上下定盤が回転することなく固定されていて、工作物は回転する内歯歯車と太陽歯車の双方と噛み合うキャリヤ内に保持されて運動し、上下定盤に挟み付けられる研磨圧のもとでラップされる形式の両面研磨機である。工作物が上下の定盤から同じ方向の研磨力を受けるので、キャリヤにかかる負担が大きく極薄物研磨には適さない。構造が簡単で、比較的安価である。
独立行政法人 産業技術総合研究所 (知財管理番号 : H15PRO160)