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研磨用語

ちょうびりゅうし

超微粒子

　一次粒子が1μm以下で高度に分散した粒子のこと。1μm以下になった粒子は高い表面エネルギーのため凝集傾向を持つが、気相法や熱分解法で製造された特殊な微粒子は、高い分散性を維持し、ポリシ剤に使用される。

　

独立行政法人 産業技術総合研究所　(知財管理番号 : H15PRO160)