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PVD・CVD概論
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ブラスト・エロージョン試験

ブラスト・エロージョン摩耗試験は、薄膜面に人造研削材を加圧した空気で吹き付けて、薄膜の耐摩耗性を調べる評価法です。薄膜の質量の減少量で基板と比較したり、顕微鏡などによる摩耗状態の観察からエロージョン摩耗現象を調べたりします。