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PVD・CVD概論
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X線回折測定(2結晶方式)
　2結晶X線構造回折測定は、試料にX線を当てて回転させることで、ブラッグの反射条件に基づいて試料の構造を反映したX線回折ピークを得る測定法です。回折ピークの分析により、薄膜の結晶構造や配向性、組成、不純物含有量などがわかります。