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	構造特性評価法 構造特性評価法について、アニメーション動画を用いて説明します。 構造特性評価法 膜厚測定 顕微鏡断面試験 多重光干渉法 マイクロメータ試験 重量測定 電解式試験 磁力式試験 エネルギー分散型蛍光X線試験(EDXRF) 波長分散型蛍光X線試験(WDXRF) β線式試験 触針式試験 走査型電子顕微鏡 (SEM) 測定 表･断面構造観察 光学顕微鏡(OM)観察 走査型電子顕微鏡(SEM) 観察 走査型トンネル顕微鏡(STM)観察 原子間力顕微鏡(AFM)観察 透過型電子顕微鏡(TEM)観察 結晶性･結晶構造測定 2結晶X線回折測定 (XRD) 反射高エネルギー電子線回折 (RHEED) 透過型電子顕微鏡(TEM) 表面粗さ測定 触針式試験 原子間力顕微鏡(AFM)

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