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重量測定

前処理をした後の基板と薄膜試料との重量差を測定し、単位面積当たりの付着量を求める方法です。このときに、基板材料の密度が既知であれば、密度は重さ/体積の関係から、重さと面積がわかるため、薄膜の膜厚を見積もることができます。