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顕微鏡断面試験

　顕微鏡断面試験は、試料を切断し、その断面を顕微鏡でのぞき、測定目盛で膜厚を測定するものです。
　測定箇所を直角に切断し、樹脂に埋め込んで鏡面になるまで研磨し、基板と薄膜の界面を化学的に腐食して明瞭な境界にさせることで、小さいものでも測定することができます。