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PVD・CVD概論
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表面粗さ測定 (触針式試験)

 触針型表面粗さ試験は、針状の先端を表面に接触させて試料を走査することで、表面状態の凹凸や段差を評価するものです。
 表面の凹凸の中心線を基準として凹凸の絶対値の平均を取った値を中心線平均粗さ(Ra)といいます。ある基準長さの内での凹凸曲線の最も高いところと最も低いところとの差を最大粗さ(RMAX)といいます。ある基準長さ内で中心線より測定した最高から5番目までの山頂の高さの平均値と、最深から5番目までの谷底の高さの平均値との差を十点平均粗さ(Rz)といいます。