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原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope 略称 AFM)は、先端を尖らせた深針（カンチレバー）を試料表面上で走査して、カンチレバーと表面の間に作用する原子間力を測定し、微小領域の表面の凹凸や形状を３次元で可視化して観察する方法です。1 nN以下の小さな力を測定します。
測定では、深針を一定の力で表面に接触するコンタクトモード（接触法）と、深針をカンチレバーの共振周波数付近で振動させながら試料表面に接近させて走査させる非接触法であるノンコンタクトモード、またはダイナミックフォースモードがあります。
また、摩擦力を検出する機能を有する摩擦力顕微鏡(Frictiron Force Microscope 略称 FFM)、磁気力を検出する機能を有する磁気力顕微鏡(Magnetic Force Microscope 略称 MFM)や、電位分布を測定する走査型(Scannin Maxwell Stress Microscope 略称 SMM)、同じく電位分布を測定するケルビンプローブフォース顕微鏡(Kelvin Probe Force Microscope 略称 KFM)、エバネッセント光を利用して光学的性質を測定する(Scannin Near Field Optical Atomic Force Microscope 略称 SNOAM)などがあります。 |
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