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	光学顕微鏡観察
	顕微鏡断面試験は、試料を切断し、その断面を顕微鏡でのぞき、表面や断面の組織や構造の観察をするものです。また、測定目盛で断面観察像から膜厚を測定することもあります。 　 断面を観察する場合は、測定箇所を直角に切断し、樹脂に埋め込んで鏡面になるまで研磨し、基板と薄膜の界面を化学的に腐食して明瞭な境界にさせることで、小さいものでも測定することができます。
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