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PVD・CVD概論
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ヌープ硬さ試験

対稜角が172.5度と130度の底面が菱形のダイヤモンド四角錐圧子を用いて、薄膜表面に押し込み、その試験力を解除した後で、表面に残ったくぼみの投影面積からヌープ硬さ(HK)として求めます。