図3　SiC 切削仕上げ面粗さ
	切削速度25m/min　切削時間 1min	切削速度60m/min　切削時間 1min
図4　SiC 切削仕上げ面断面曲線
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	切削速度 25m/min　切削時間 1min	切削速度 60m/min　切削時間 1min

0.5mm

0.2mm