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	バッチ式縦型PVD装置(観音開き型)
	観音開き型のPVD成膜装置は、真空に引いて成膜する一方で、部品の取り出しや設置を行えるように観音開き型のドアを採用しています。部品交換と真空中に多くのものを投入してトータルの成膜時間を削減しています。 　バッチ式は、一度反応管に基板をセットすると成膜処理が終了するまで取り出さずに、成膜する方式をいいます。
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