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PVD・CVD概論
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方式・型式
成膜方式や型式について、アニメーション動画を用いて説明します。
【バッチ式】
・PVD装置(地面に対する蒸発源および基板の方向で縦横が決まります)
蒸発源および基板の方向
縦型
垂直円筒型
観音開き型
横型
平行型
・CVD装置(地面に対する供給ガスの流れる方向で縦横が決まります)
供給ガスの流れる方向
縦型
基板水平型
円筒型
観音開き型
横型
基板水平型
基板垂直型
【連続式】
PVD・CVD装置
枚葉型
ロール・トゥ・ロール型
動画が見られない方は、フラッシュプレーヤーを下記のホームページにてダウンロードしてください。
http://get.adobe.com/jp/flashplayer/?Lang=Japanese