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	連続式PVD･CVD装置(枚葉型)
	枚葉式成膜装置は、複数の成膜工程の各工程ごとに成膜室を分けて、その間は自動的に基板が搬送機構を有し、流れ作業のように順番に一枚一枚成膜します。各工程が別々になっているので、他の工程に用いる材料が不純物と混入するなどの影響を除くことができ、また、独立に成膜条件を制御できるため膜質も安定化できます。 　 連続式は、ウェハー上の基板一枚への成膜を繰り返えしたり、ロール状の基板を連続的に成膜したりすることで、連続的に成膜工程を行うことを指します。
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