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	連続式PVD･CVD装置(ロール･トゥ･ロール型)
	ロール･トゥ･ロール式成膜装置は、ロール状に巻き取った素材を連続的に供給して巻き取る機構を有しており、複数の成膜工程を流れ作業のように順番に行って成膜します。プラスチックなどの軟らかい素材や金属線材で、熱処理をあまり必要としない場合では、コスト安でとくに有効となります。 　 連続式は、ウェハー上の基板一枚への成膜を繰り返したり、ロール状の基板を連続的に成膜したりすることで、連続的に成膜工程を行うことを指します。
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